丰满少妇❌张开大白腿摄影图片🚩BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 - 流量計

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BROOKS 質量(liang)流量控制器 GP200系列(lie)簡介
所有的表現(xiàn)。沒有任何限制。
GP200 系(xi)列是第一款完全(quán)不敏感的基于壓(ya)力的質量流量控(kòng)🔱制器🐇 (P-MFC)，專為半導體(ti)制造中的先進蝕(shí)刻和沉積工藝而(er)設計。
GP200 系列 P-MFC 采用技(jì)術架構，克服了傳(chuán)統 P-MFC 的局限性，即使(shǐ)在輸送低蒸氣壓(yā)工藝氣體時也能(neng)提供最精确的工(gōng)藝氣體輸💃送。它包(bao)括👈幾個獨特的設(shè)計方面，包括與下(xia)遊閥門架構相結(jié)合的集成😘壓差傳(chuán)感器，可在行業中(zhōng)最廣泛的操作條(tiáo)件下實現最精确(què)的工藝氣♊體輸送(song)。
由于 GP200 系列支持如(rú)此廣泛的工藝條(tiao)件，它可以用作許(xu)多傳統 P-MFC 和熱 MFC 的直(zhí)接替代和升級。它(ta)降低了氣體🌍輸送(song)系統的複🏃雜性和(he)擁有成本，因為它(tā)消除了對壓力調(diào)🈚節器和傳感器等(deng)組件的需求。

特征(zheng)
真正的差壓測量(liang)
降低入口壓力運(yùn)行
下遊閥門結構(gou)
匹配的瞬态響應(yīng)
零洩漏控制閥
MultiFlo TM技(jì)術提供了無與倫(lun)比的靈活性——一個(ge)設備可以針對數(shù)千種不❄️同的氣體(ti)和流量範圍配置(zhi)進行編程，而無需(xū)從氣體管線中移(yí)除 MFC 或影響精度
本(ben)地顯示顯示流量(liàng)、溫度、壓力和網絡(luo)地址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模拟接口(kǒu)
好處
通過消除匹(pi)配和補償兩個獨(dú)立壓力傳感器的(de)要求，GP200 差壓技術🐪降(jiàng)低了測量不确定(dìng)性，從而提高了準(zhǔn)确性❤️、可重複性和(hé)漂移性能。
由于專(zhuān)為低壓差測量而(er)優化的 GP200 差壓傳感(gǎn)器，現在使用 P-MFC 可以(yi)在較低的入口壓(yā)力下實現更安全(quán)的晶👨‍❤️‍👨圓廠操作。
下(xià)遊閥門結構确保(bǎo)精度獨立于下遊(yóu)壓力，使流量輸送(sòng)到高達 1200 Torr 的壓力。快(kuai)速關閉閥門解決(jué)了上遊 MFC 閥門設計(ji)中出現的非生産(chan)性配方等待時間(jiān)或“尾部效應”，這些(xie)閥門需要額外的(de)時間來排❄️出其内(nei)部氣體體積。
超快(kuài)、高度可重複的上(shàng)升和下降流動穩(wěn)定時間可在先進(jin)的高循環沉積和(he)蝕刻工藝中實現(xiàn)更嚴格的工藝控(kòng)制。
閥門關閉性能(neng)提高 100 倍
使用 MultiFlo TM，MFC 滿量(liang)程流量範圍通常(cháng)可以按 3:1 的系數重(zhòng)新按💃🏻比例縮小，而(ér)不會影響精度、量(liang)程比或規格洩漏(lou)，以實現最佳❓工藝(yi)🚶和庫🔱存靈活性
方(fang)便的用戶顯示和(hé)獨立的診斷/服務(wù)端口有助于設備(bèi)安裝、監控和故障(zhàng)排除
主要應用
半(bàn)導體制造
蝕刻
化(huà)學氣相沉積 (CVD)
需要(yào)高純度全金屬流(liú)路的氣流控制應(yīng)用

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